除了该类微型光谱仪以外，滨松的mems-ftir(mems傅里叶变换红外光谱)、mems-fpi(mems布里珀罗腔型近红外光谱探测器)等微型化产品也都受到了高度的关注。
先来看看下面这张图，请注意红圈里的两个小东东，能想象得出它们就是两款光谱产品么？衬衫纽扣大小的是mems-fpic13272近红外光谱探测器；稍大一些，长方形的是c12666ma微型光谱仪。
memsfpinirspectrumsensor，全称微机电加工工艺制作法布里珀罗腔型近红外光谱探测器，简称mems-fpi。是一款超小型、低成本的光谱探测器产品。
