摘要：根据国内外电子制造业方面的挥发性有机物（VOCs）控制措施进展以及产品主要VOCs排放工艺和治理水平调查结果,从源头治理、末端治理、监测和台帐等方面分类别开展VOCs排放控制。控制方案主要措施包括禁止使用高挥发性涂料,推广使用低挥发性有机原辅料,规范集气系统和治理设施,加强企业监测和台帐等监管和执法等。实施该控制方案后,深圳市电子制造业的VOCs共削减4200吨,约占深圳市2014年电子制造业排放的40.8%,具有良好的减排效益,对进一步提升深圳市环境质量具有重要作用。
2材料与方法
通过文献调研，收集和整理国内外的VOCs控制措施进展，为我市电子制造业VOCs控制提供新的思路和经验借鉴：通过走访相关行业协会和企业现场调研，了解我市目前电子制造业的vOCs排放工艺和治理水平;根据产品类型和工艺排放情况，分类别开展源头改造和末端治理控制方案设计，提出我市电子制造业VOCs污染控制措施方案。根据方案设计，分析重点行业VOCs减排效益，探讨电子制造业相关行业建议。
3结果与分析
3.1电子制造业V0Cs排放主要工艺分析
根据电子制造业产品和工艺特性，将电子制造业产品分为5大类：半导体集成电路、液晶显示器(LCD)、发光二极管(LED)、印制电路板(PCB)、电子终端产品。其中，半导体集成电路制造是由原料晶圆片，经由不断的重复光学显影、蚀刻、薄膜沉积等步骤，最后经由封装而成。使用有机溶剂的工序有显影、蚀刻、薄膜沉积等.其中光学显影工序使用量最大，光阻涂布、显影、去光阻及清洗等单元均大量使用有机溶剂，如光阻剂稀释剂、清洗剂、以及光阻剂自身含有的溶剂组份。芯片封装工艺中上印区需用丙酮清洗以及调制印墨;TFT_LCD的制造工艺主要由阵列制备、彩色滤光片制备、液晶盒制备和模块组装等部分组成。TFT液晶面板生产排放VOCs污染物的工序主要集中在阵列工程和彩膜工程两大部分。阵列工程中的光刻(涂胶、曝光和显影)，以及彩膜工程中的黑色矩阵BM膜制造、彩色矩阵膜形成、保护膜生成、MVA膜、PS(PHotoSpacer)膜生成是产生V0Cs的主要工艺：LEDVOCs主要排放工艺与LCD类似：印制电路扳多数为单层、多层印制电路板，柔性电路板的发展也很迅速，产生的VOCs工艺环节相对较集中，主要为丝印和清洗过程。丝印环节涉及阻焊油墨(绿油)及文字油墨(白油)及其稀释剂的使用。印刷过程中油墨的稀释剂多为防白水(乙一：醇单丁醚)：电子终端产品划分为电子计算机类产品、通信类产品、家用视听类产品、仪器设备类产品和其它类产品。电子终端产品装配主要包括电子元器件准备齐套、印刷电路板(PCB)表面安装、测试、老化、包装、整机装配和产品调试等工序。在电子终端产品制造中，VOCs的主要来源包括电路板清洗剂有机废气、电路板三防、机壳/机箱喷漆废气和机壳注塑废气。
3.2电子制造业控制方案设计
为了加强对电子制造行业的VOCs控制，结合国内外的电子行业的控制措施和法规，本方案从源头治理、末端治理、监测和台帐等要求等方面开展全面控制和要求。其中新、改、扩建电子终端产品涂装项目禁止使用高挥发性有机物含量涂料，鼓励已建电子企业使用低挥发性有机物含量原料(低挥发性涂料、环保型的清洗剂、显影液、光刻液和剥离液等)，加强涂料储存、输送和废弃涂料收集日常监管;规范集气系统和治理设施达到相关法规要求’石角保集气收集率和治理效率不低于90%，最终VOCs浓度达标排放;定期按照相关规则完成有组织、无组织排放监测，开展电子制造业VOCs在线监测试点工作，建立并保留原辅料、治理设施运行等方面台账记录。控制方案具体措施见表l所示。
在各项措施实施后，该方案共削减O.42万吨VOCs，占20l4年我市电子制造业排放的40.8%，减排量约占全市VOCs总量的3-3%。可见，该方案实施为全市VOCs削减做出较大的贡献，有明显的减排效益。
4结论与建议
(1)半导体集成电路、LCD和LED等行业VOCs排放主要来源于光阻涂布、显影、去光阻及清洗等环节：印制电路板行业VOCs排放主要来源于丝印和印版清洗环节：电子终端产品行业VOCs排放主要来源于清洗、喷漆和注塑等环节。
(2)从源头治理、末端治理、监测和台帐等方面开展方案设计，主要措施包括禁止使用高挥发性涂料，推广使用低挥发性有机原辅料，规范集气系统和治理设施，加强企业监测和台帐等监管和执法。
(3)实施该控制方案后，深圳市电子制造业的VOCs共削减O.42万吨，约占我市20l4年电子制造业排放的40.8%，具有良好的减排效益，对进一步提升深圳市环境质量具有重要意义。
(4)建议大力推广电子终端产品水性涂料使用，半导体集成电路、LCD/LED和印制电路板等行业末端治理水平等行业则严控末端治理设施水平;加强企业排放监管，确保达标排放：加大科技投入，加强低挥发性涂料技术攻关和低成本、高效率VOCs治理设备研发。
原标题：深圳市电子制造业VOCs排放工艺与控制方案设计
