摘要：沸石分子筛是沸石转轮吸附浓缩治理系统的核心部件，直接影响系统对VOCs治理效果。本文以中芯国际集成电路制造（上海）有限公司为调查主体，对其有机废气成分进行分析，从分子大小、极性、沸点和吸附质浓度等方面探讨了沸石分子筛的选型要求，研究沸石分子筛的吸附性能。为国内芯片制造业在沸石分

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芯片制造业VOCs废气治理所采用的沸石分子筛选型建议

2017-02-23 13:17 来源: 中国科技信息 作者: 陈娟 严晨圆等

摘要：沸石分子筛是沸石转轮吸附浓缩治理系统的核心部件，直接影响系统对VOCs治理效果。本文以中芯国际集成电路制造（上海）有限公司为调查主体，对其有机废气成分进行分析，从分子大小、极性、沸点和吸附质浓度等方面探讨了沸石分子筛的选型要求，研究沸石分子筛的吸附性能。为国内芯片制造业在沸石分子筛选型方面提供方案和建议。

沸石分子筛

沸石分子筛

沸石分子筛

沸石分子筛

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延伸阅读：

国内外沸石转轮技术研发的现状和趋势

原标题：芯片制造业VOCs废气治理所采用的沸石分子筛选型建议

VOCs治理 有机废气 沸石分子筛
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